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全面解析真空泵的選型規(guī)則
時(shí)間:2018-05-09 14:41
來源:德耐爾真空泵
作者:Denair
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1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空 鍍膜要求 110-5mmHg 的真空度,選用的真空泵的真空度至少要 510-6mmHg。通常 選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。選擇泵的極限壓力低于技術(shù)請求約一個(gè)數(shù)量級。
2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為 10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為 510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在 10-8mmHg 下長期工作。 又如鈦升華泵可以在 10-2mmHg 下工作, 但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于 110-5mmHg 為好。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能 滿足抽氣要求, 需要幾種泵組合起來, 互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。 如鈦升華泵 對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵, (或二極型非對稱陰極 濺射離子泵) 對氬有一定的抽速, 兩者組合起來, 便會(huì)使真空裝置得到較好的真 空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓 強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有 油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?；覊m,有無腐蝕性等。挑選真空泵時(shí)，需求知道氣體成分，對于被抽氣體挑選相應(yīng)的泵。假如氣體中富含蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)當(dāng)思考在泵的進(jìn)氣口管路上裝置輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許有污染, 應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
